에코에너지 사업부

흡착제 소재

반도체공정이나 다양한 오염원에서 발생되는 가스상 오염물질을 흡착제거 하기 위한 소재를 개발하여 공급하고 있습니다.

흡착제 장점

  • Gas 처리 효율이 우수함. (99% 이상 제거)

    Gas 악취제거 효과가 뛰어남

    운전이 쉽고 간편하며 관리 Point가 적음

    폐수발생이 없고 주변 환경을 깨끗하게 유지할 수 있음

  • 신기술인증서

  • CO2제거용 흡착제

  • 흡착제 종류
    흡착제 제거대상 GAS 흡착제 사진
    AT-2 Cl2, BCl3, HBr, BF3, HCl, HF, F2, NF3 , H2S, SO2
    AT-3 SiH4, SiCl2H2, B2H6, CO, GeH4
    AT-3-1 SiH4, SiCl2H2, B2H6
    AT-4 NH3,DMA
    AT-5 PH3, AsH3, B2H6

흡착제 제조 공정

  • 1 원료 혼합(제품 A)

  • 2 원료 혼합(제품 B)

  • 3 압출 진행 중

  • 4 건조기 투입

  • 5 건조 완료 제품

  • 6 혼합기(타입 A)

  • 7 혼합기(타입 B)

  • 8 압출기

  • 9 건조기

  • 10 전기로 내부 제품군